蓝宝石衬底的图形化技术在GaN基LED上的应用
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上传人：陈洪钧/张沛元/王璨璨/吴立枢/李运/张雄/崔一平 上传时间： 2012-03-14 浏览次数： 842 |
目录
1、前言
2、图形化衬底提高出光率原理
3、发展现状
4、最新进展
5、结论
什么是图形化蓝宝石衬底?
PSS(Patterned Sapphire Substrate)，是指在蓝宝石衬底上制作出周期性图形。具体指利用标准的光刻工艺将蓝宝石衬底表面的掩膜刻出图形，之后用ICP或湿法刻蚀技术刻蚀蓝宝石衬底，去除掉掩膜后生长GaN材料，使GaN材料的纵向外延变为横向外延。
特点：
1、可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小有源区的非辐射复合，提高内量子效率，减小反向漏电流，提高LED的寿命。
2、有源区发出的光，经GaN和蓝宝石衬底界面多次散射，改变了原全反射光的入射角，增加了LED光出射的几率，从而提高了光的提取效率。
……
图、几类蓝宝石图形化衬底
图、使用图形化衬底(PSS)与传统蓝宝石衬底的对比图
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