湿法腐蚀制备蓝宝石图形衬底的研究
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上传人：邵慧慧,李树强,曲爽,李毓锋,王成新,徐现刚 上传时间： 2011-09-06 浏览次数： 302 |
| 作者 | 邵慧慧,李树强,曲爽,李毓锋,王成新,徐现刚 |
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| 单位 | 山东大学晶体材料国家重点实验室,山东华光光电子有限公司 |
| 分类号 | TN304.052 |
| 发表刊物 | 人工晶体学报 |
| 发布时间 | 2010年06期 |
随着第三代半导体GaN的发展,利用GaN基大功率LED作为一种新型的固体光源的应用越来越广泛,GaN基LED具有功率高,能源消耗少,寿命长,体积小,保护环境等一系列的优点,成为人们开发研究的热点[1]。目前应用最广泛的外延GaN材料的衬底是成本较低的蓝宝石衬底,但是由于蓝宝石……
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