利用CGSim对泡生法蓝宝石晶体生长工艺的数值模拟分析和优化
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上传人：绿光 上传时间： 2011-08-13 浏览次数： 926 |
数值模拟对于分析和优化晶体生长系统极为有效，因为它为我们提供了通过观察或测量难以得到的信息，例如熔体内和生长中的晶体内的温度分布。尝试采用一种简化的模型，无视晶体的半透明性和熔体的流动，将给出不切实际的结晶前沿形状和晶体/熔体界面温度梯度。在考虑蓝宝石的半透明性时，我们使文献[2]提出的离散传递法，解决在镜面菲涅尔边界的复杂区域轴对称区域的辐射传输问题。
热交换法
泡生炉的整体传热受到钼隔热层的数量和几何参数的强烈影响。热屏和其他绝缘块被固定在炉体侧壁上方和底部(见图1)。热屏设计的目标是建立一个围绕坩埚和生长晶体的最佳温度分布热区。坩埚中的温度分布将决定熔体的流动结构并影响结晶前沿形状，晶体周围部件的温度也将影响结晶前沿形状和晶体的热应力。
图1 泡生炉的整体热场
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